Estudo do comportamento eletrico de dispositivos semicondutores fabricados com filmes finos de a-C:H e a-C:H:N obtidos por RF-PECVD
Rodrigo Porto Pires
DISSERTAÇÃO
Português
(Broch.)
T/UNICAMP P665e
Campinas, SP : [s.n.], 2003.
64f. : il.
Orientador : Edmundo da Silva Braga
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação
Estudo do comportamento eletrico de dispositivos semicondutores fabricados com filmes finos de a-C:H e a-C:H:N obtidos por RF-PECVD
Rodrigo Porto Pires
Estudo do comportamento eletrico de dispositivos semicondutores fabricados com filmes finos de a-C:H e a-C:H:N obtidos por RF-PECVD
Rodrigo Porto Pires
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