Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma

Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma

Wagner Jose Lopes Xavier

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP X19o

Campinas, SP : [s.n.], 1990.

86f. : il.

(Publicação FEE)

Orientador : Vitor Baranauskas

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Não informado

Abstract: Niobium and niobium oxides have been used for superconductive structures such as Josephson junctions, SQUIDS and superconductive interconnects in semiconductor devices. In tllls work we had investigated the thermal oxidation of Nb thin-films (deposited by DC - sputtering ou to silicon...

Obtenção de oxidos de niobio sobre silicio e sua corrosão por plasma

Wagner Jose Lopes Xavier


										

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