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Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Roberto Ribeiro Neli

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP N322d

Campinas, SP : [s.n.], 2002.

89p. : il.

Orientador : Ioshiaki Doi

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Roberto Ribeiro Neli

										

Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

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