Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie
Roberto Ribeiro Neli
DISSERTAÇÃO
Português
(Broch.)
T/UNICAMP N322d
Campinas, SP : [s.n.], 2002.
89p. : il.
Orientador : Ioshiaki Doi
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação
Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie
Roberto Ribeiro Neli
Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie
Roberto Ribeiro Neli
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