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Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Olga Viatcheslavovna Balachova

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP B18c

Campinas, SP : [s.n.], 2001.

92p. : il.

Orientador : Edmundo da Silva Braga

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Olga Viatcheslavovna Balachova

										

Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD

Olga Viatcheslavovna Balachova

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