Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
Olga Viatcheslavovna Balachova
TESE
Português
(Broch.)
T/UNICAMP B18c
Campinas, SP : [s.n.], 2001.
92p. : il.
Orientador : Edmundo da Silva Braga
Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação
Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
Olga Viatcheslavovna Balachova
Contribuição ao estudo das propriedades dieletricas e mecanicas dos filmes finos de a-C:H, obtidos por PECVD
Olga Viatcheslavovna Balachova
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