Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Ricardo Cotrin Teixeira

Material

DISSERTAÇÃO

Idioma

r d

Número de chamada

T/UNICAMP T235i

Publicação

Campinas, SP : [s.n.], 2001.

Descrição física

85p. : il.

Nota geral

Orientador : Ioshiaki Doi

Nota de dissertação ou tese

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Direito de acesso

Aberto

Assuntos

Filmes finos

Silício

Deposição química de vapor

Autoria

Teixeira, Ricardo Cotrin Autor

Doi, Ioshiaki, 1944- Orientador

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Ricardo Cotrin Teixeira

Ricardo Cotrin Teixeira

Nº de exemplares: 2
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Informações do exemplar	Informações do exemplar	Nº de chamada	Biblioteca	Localização	Situação	QR Code
Tombo: 1150046262 Ano: 2001 Suporte: Impresso Nº de chamada: T/UNICAMP T235i Biblioteca : BAE Situação: Disponível Visualizar QR Code	Tombo: 1150046262 Ano: 2001 Suporte: Impresso	T/UNICAMP T235i	BAE		Disponível
Tombo: 1150046232 Ano: 2001 Suporte: Impresso Nº de chamada: T/UNICAMP T235i Biblioteca : BCCL Situação: Não circula Visualizar QR Code	Tombo: 1150046232 Ano: 2001 Suporte: Impresso	T/UNICAMP T235i	BCCL		Não circula

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