Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino
Ricardo Cotrin Teixeira
DISSERTAÇÃO
Português
(Broch.)
T/UNICAMP T235i
Campinas, SP : [s.n.], 2001.
85p. : il.
Orientador : Ioshiaki Doi
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica
Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino
Ricardo Cotrin Teixeira
Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino
Ricardo Cotrin Teixeira
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