Terminal de consulta web

Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Ricardo Cotrin Teixeira

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP T235i

Campinas, SP : [s.n.], 2001.

85p. : il.

Orientador : Ioshiaki Doi

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Ricardo Cotrin Teixeira

										

Implementação de um sistema LPCVD vertical para obtenção de filmes finos de silicio policristalino

Ricardo Cotrin Teixeira

    Exemplares

    Nº de exemplares: 2
    Não existem reservas para esta obra