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Estudo das propriedades físicas de nitreto de carbono amorfo obtido por deposição assistida por feixe de íons (IBAD)

Estudo das propriedades físicas de nitreto de carbono amorfo obtido por deposição assistida por feixe de íons (IBAD)

Nelson Mario Victoria Bariani

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP V666e

Campinas, SP : [s.n.], 2000.

143 p. : il.

Orientador: Fernando Alvarez

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb wataghin"

Resumo: Considero que este trabalho contribui na interpretação coerente de resultados espectroscópicos de XPS, UPS, IR, Raman e UV-VIS de um conjunto de mais de 80 filmes de a-C, a-C:H, a-CNxe a-CNx:H depositados por deposição assistida por feixe de íons (IBAD). A variação controlada de parâmetros... Ver mais
Abstract: I hope that this work contributes to a coherent interpretation of spectroscopic data from XPS, UPS, IR, Raman and UV-VIS spectra corresponding to more than 80 thin films of a-C, a-C:H, a-CNxand a-CNx:H deposited by ion beam assisted deposition (IBAD). The controlled variation of parameters... Ver mais

Estudo das propriedades físicas de nitreto de carbono amorfo obtido por deposição assistida por feixe de íons (IBAD)

Nelson Mario Victoria Bariani

										

Estudo das propriedades físicas de nitreto de carbono amorfo obtido por deposição assistida por feixe de íons (IBAD)

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