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Contribuição ao estudo das propriedades fisicas e quimicas do filme amorfo de carbono hidrogenado

Contribuição ao estudo das propriedades fisicas e quimicas do filme amorfo de carbono hidrogenado

Alfeu Fissore

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP F549c

Campinas, SP : [s.n.], 2000.

70f. : il.

Orientador: Edmundo da Silva Braga

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: O filme amorfo de carbono [Amorphous Hydrogenated Carbon-(a-C:H)] apresenta altíssima resistência química às soluções aquosas, tanto ácidas como básicas, freqüentemente usadas para corroer e/ou polir vários tipos de materiais aplicados como substratos nas tecnologias da microeletrônica e/ou... Ver mais
Abstract: Amorphous Hydrogenated Carbon(a-C:H) film presents a very high chemical resistance to the acid and basic aqueous chemical solutions frequently used to etch and/or polish several kinds of materials applied as substrate in the microelectronics and/or micromachining technologies. Besides, the... Ver mais

Contribuição ao estudo das propriedades fisicas e quimicas do filme amorfo de carbono hidrogenado

Alfeu Fissore

										

Contribuição ao estudo das propriedades fisicas e quimicas do filme amorfo de carbono hidrogenado

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