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Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD

Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD

Elidiane Cipriano Rangel

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP R163i

Campinas, SP : [s.n.], 1999.

135 p. : il.

Orientador: Mário Antônio Bica de Moraes

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Neste trabalho, investigou-se a influência da implantação iônica sobre as propriedades de filmes finos de polímero depositados a partir de plasmas de radiofrequência (40 MHz, 70 W) de dois compostos orgânicos (acetileno e benzeno) e de suas misturas com gases nobres. As irradiações foram... Ver mais
Abstract: This work reports the influence of the ion implantation on the properties of thin plasma polymer films deposited from radiofrequency (40 MHz, 70 W) plasmas of two organic compounds (acetylene and benzene) and from their mixtures with noble gases. The irradiations were performed with an ion... Ver mais

Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD

Elidiane Cipriano Rangel

										

Implantação iônica em filmes finos depositados por PECVD

Elidiane Cipriano Rangel

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