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Intercalação de lítio em filmes finos de óxido de molibdênio

Intercalação de lítio em filmes finos de óxido de molibdênio

Tersio Guilherme de Souza Cruz

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP C889i

Campinas, SP : [s.n.], 1998.

55 f. : il.

Orientador: Annette Gorenstein

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica "Gleb Wataghin"

Resumo: Neste trabalho foram estudadas as propriedades de filmes finos de óxido de molibdênio depositadas por sputtering reativo, variando-se o fluxo de oxigênio (f) durante a deposição e mantendo-se os outros parâmetros de deposição constantes. A microestrutura e a composição dos filmes foram... Ver mais
Abstract: In this work, molybdenum oxide thin films deposited by reactive sputtering were studied. The oxygen flow (f ) during deposition was varied, and all other deposition parameters were maintained at constant values. The microstructure and composition were studied by X-Ray Diffraction,... Ver mais

Intercalação de lítio em filmes finos de óxido de molibdênio

Tersio Guilherme de Souza Cruz

										

Intercalação de lítio em filmes finos de óxido de molibdênio

Tersio Guilherme de Souza Cruz

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