Deposição e caracterização de filmes de diamante semicondutor e sua aplicação em dispositivo eletrico

Deposição e caracterização de filmes de diamante semicondutor e sua aplicação em dispositivo eletrico

Margareth Kazuyo Kobayashi Dias Franco

TESE

Português

(Broch.)

T/UNICAMP F848d

Campinas, SP : [s.n.], 1996.

125f. : il.

Orientador: Ioshiaki Doi

Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação

Resumo: O estudo de filmes finos de diamante tem despertado muita atenção devido a sua grande potencialidade de aplicações. Na microeletrônica um dos campos de interesse é em dispositivos semicondutores para alta frequência e alta temperatura, devido a suas propriedades como alta condutividade...

Abstract: Not informed.

Deposição e caracterização de filmes de diamante semicondutor e sua aplicação em dispositivo eletrico

Margareth Kazuyo Kobayashi Dias Franco


										

Deposição e caracterização de filmes de diamante semicondutor e sua aplicação em dispositivo eletrico

Margareth Kazuyo Kobayashi Dias Franco

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