Microscopia fototérmica de reflexão aplicada à caracterização de dispositivos microeletrônicos

Microscopia fototérmica de reflexão aplicada à caracterização de dispositivos microeletrônicos

Jerias Alves Batista

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP B32m

Campinas, SP : [s.n.], 1996.

95 f. : il.

Orientador: Antonio Manoel Mansanares

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Um importante passo para o desenvolvimento de estruturas microeletrônicas é a avaliação não destrutiva de dispositivos em operação. O conhecimento das perdas térmicas nessas estruturas é de grande importância, uma vez que se elas forem excessivas localmente podem indicar a presença de um...

Abstract: Non-destructive evaluation of operating micro-electronic devices is a fundamental step in the development of such structures. The knowledge of the thermal losses distribution in these structures is of particular importance, since they both can indicate the presence of defects and promote,...

Microscopia fototérmica de reflexão aplicada à caracterização de dispositivos microeletrônicos

Jerias Alves Batista


										

Microscopia fototérmica de reflexão aplicada à caracterização de dispositivos microeletrônicos

Jerias Alves Batista

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