Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

Silvia Elisabeth Sauaia Lopes

DISSERTAÇÃO

Português

(Broch.)

T/UNICAMP L881s

Campinas, SP : [s.n.], 1996.

87 f. : il.

Orientador: Jose Antonio Siqueira Dias

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica

Resumo: Tanques para banho à temperatura constante necessitam de um sistema de controle para monitoração e controle de sua temperatura de operação e demais funções. O controle da temperatura deve ser rígido e preciso; condições de alarme e desligamento automático devem ser previstos. O presente...

Abstract: Tanks for constant temperature bath need a temperature and related functions moni toring and control system. Temperature control must be constant and precise; alarm and automatic switching off conditions must be provided. This work is to study, implement and test a microprocessor...

Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

Silvia Elisabeth Sauaia Lopes


										

Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica

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