Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica
Silvia Elisabeth Sauaia Lopes
DISSERTAÇÃO
Português
(Broch.)
T/UNICAMP L881s
Campinas, SP : [s.n.], 1996.
87 f. : il.
Orientador: Jose Antonio Siqueira Dias
Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica
Resumo: Tanques para banho à temperatura constante necessitam de um sistema de controle para monitoração e controle de sua temperatura de operação e demais funções. O controle da temperatura deve ser rígido e preciso; condições de alarme e desligamento automático devem ser previstos. O presente...
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Resumo: Tanques para banho à temperatura constante necessitam de um sistema de controle para monitoração e controle de sua temperatura de operação e demais funções. O controle da temperatura deve ser rígido e preciso; condições de alarme e desligamento automático devem ser previstos. O presente trabalho pretende estudar, implementar e testar um protótipo de um sistema de controle microprocessado para tais tanques. Este trabalho apresenta um controlador digital do tipo PID, baseado na arquitetura do microcontrolador 8051 da Intel, com aIto desempenho, robusto, eficiente e simples, características estas comprovadas através de testes práticos realizados no final do projeto
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Abstract: Tanks for constant temperature bath need a temperature and related functions moni toring and control system. Temperature control must be constant and precise; alarm and automatic switching off conditions must be provided. This work is to study, implement and test a microprocessor...
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Abstract: Tanks for constant temperature bath need a temperature and related functions moni toring and control system. Temperature control must be constant and precise; alarm and automatic switching off conditions must be provided. This work is to study, implement and test a microprocessor controller's prototype for such tanks. This work presents a digital controller with a PID control scheme, based in the architecture of the Intel' s 8051 microcontroller, with high performance, strong, efficient and simple, characteristics verified through practical tests made at the end of the project
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Sistema de controle microprocessado para tanques para Wet-etching/cleaning em microeletronica
Silvia Elisabeth Sauaia Lopes
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