Dopagem do a-Ge:H com nitrogênio usando amônia como gás dopante

Dopagem do a-Ge:H com nitrogênio usando amônia como gás dopante

Ricardo Robenson Campomanes Santana

DISSERTAÇÃO

Português

T/UNICAMP C157d

Campinas, SP : [s.n.], 1994.

59 f. : il.

Orientador: Ivan Emilio Chambouleyron

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Instituto de Fisica Gleb Wataghin

Resumo: Neste trabalho apresentamos resultados nas propriedades ópticas e elétricas de filmes de germânio amorfo hidrogenado (a-Ge:H), dopados com nitrogênio. Usamos a amônia como gás dopante nos filmes de a-Ge:H. Os filmes foram preparados pela técnica rf-sputtering numa atmosfera de Ar+H2+NH3,...

Abstract: In this work we present results on the electrical and optical properties of nitrogen-doped hydrogenated amorphous germanium films (a-Ge:H). We used ammonia, NH3, as the doping gas for the films of a-Ge:H. The a-Ge:H samples were prepared by rf-sputtering a c-Ge target in na Ar+H2+NH3...

Dopagem do a-Ge:H com nitrogênio usando amônia como gás dopante

Ricardo Robenson Campomanes Santana


										

Dopagem do a-Ge:H com nitrogênio usando amônia como gás dopante

Ricardo Robenson Campomanes Santana

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