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Type: DISSERTAÇÃO
Degree Level: Mestrado
Title: Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
Author: Barbaroto, Pedro Ricardo
Advisor: Doi, Ioshiaki, 1944-
Subject: Scanner ótico
Dispositivos eletromecânicos
Litografia
Fotolitografia
Indução eletromagnética
Language: Português
Editor: [s.n.]
Citation: BARBAROTO, Pedro Ricardo. Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução. 2002. 86p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258984>. Acesso em: 1 ago. 2018.
Date Issue: 2002
Appears in Collections:FEEC - Tese e Dissertação

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