Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)

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Type:	DISSERTAÇÃO
Degree Level:	Mestrado
Title:	Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100)
Author:	Santos, Regis Eugenio dos
Advisor:	Doi, Ioshiaki, 1944-
Subject:	Microeletrônica Silecetos Contatos elétricos
Language:	Português
Editor:	[s.n.]
Citation:	SANTOS, Regis Eugenio dos. Investigação sobre formação e estabilidade termica dos filmes de silicetos de Ni e Ni(Pt) em substratos de Si (100). 2003. 90f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258973>. Acesso em: 3 ago. 2018.
Date Issue:	2003
Appears in Collections:	FEEC - Tese e Dissertação

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