Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Please use this identifier to cite or link to this item: http://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258962

Type:	DISSERTAÇÃO
Degree Level:	Mestrado
Title:	Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie
Author:	Neli, Roberto Ribeiro
Advisor:	Doi, Ioshiaki, 1944-
Subject:	Nitreto de silício Membranas (Tecnologia) Pontes suspensas Filmes finos
Language:	Português
Editor:	[s.n.]
Citation:	NELI, Roberto Ribeiro. Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie. 2002. 89p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258962>. Acesso em: 1 ago. 2018.
Date Issue:	2002
Appears in Collections:	FEEC - Tese e Dissertação

Files in This Item:

File	Size	Format
Neli_RobertoRibeiro_M.pdf	3.85 MB	Adobe PDF	View/Open