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dc.contributor.CRUESPUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASpt_BR
dc.identifier(Broch.)pt_BR
dc.descriptionOrientador: Jacobus W. Swartpt_BR
dc.descriptionDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computaçãopt_BR
dc.format.extent69f. : il.pt_BR
dc.format.mimetypeapplication/pdfpt_BR
dc.languagePortuguêspt_BR
dc.typeDISSERTAÇÃOpt_BR
dc.titleEstudo das propriedades acusticas do filme fino de TiO2 usando SAWpt_BR
dc.title.alternativeStudy of acoustic properties of TiO2 films with help of surface acoustic wave resonatorspt_BR
dc.contributor.authorAlcantara, Glaucio Pedro de, 1974-pt_BR
dc.contributor.advisorSwart, Jacobus Willibrordus, 1950-pt_BR
dc.contributor.advisorSwart, Jacobus W.pt_BR
dc.contributor.institutionUniversidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computaçãopt_BR
dc.subjectAnálise de sensibilidadept_BR
dc.subjectFilmes finospt_BR
dc.subjectOndas acusticas superficiais - Dispositivospt_BR
dc.subjectRayleigh, Ondas dept_BR
dc.subjectOsciladores de radiofrequenciapt_BR
dc.subject.otherlanguageFilm mass senitivityen
dc.subject.otherlanguageThin filmsen
dc.subject.otherlanguageSurface acoustic wave devicesen
dc.subject.otherlanguageRayleigh wavesen
dc.subject.otherlanguageRF oscillatorsen
dc.description.abstractResumo: Este trabalho de dissertação apresenta o estudo e projeto dos elementos que compõem um sensor de gases baseado na tecnologia de Onda Acústica de Superfície (SAW), tais como, o oscilador colpitts SAW e um ressonador SAW de uma porta, os quais estão na malha de realimentação de um amplificador. Foi realizado também a deposição de diferentes espessuras de filme fino de TiO2 sobre o sensor, a fim de se estudar o efeito da atenuação da SAW na fronteira entre o cristal e o filme. É mostrado que atenuação da SAW acontece no filme na fina camada de aproximadamente 500 angstroms de espessura. A dependência de espessura com a mudança de freqüência e com fator Q do oscilador SAW e ressonador são apresentados, bem como a ssensitividade de massa do ressonador SAW para o filme de TiO2. Um modelo de oscilador SAW usando 2 caminhos acústicos, de melhor sensitividade que aquele de modo simples, foi estudado e propostopt
dc.description.abstractAbstract: This thesis presents the study and design of the elements which compose a gas sensor based on Surface Acoustic Wave technology, such as, SAW Colpitts oscillator and the SAW one-port resonator that are presents in the feedback loop of an amplifier. It was done deposition of TiO2 thin film different thickness on the sensor, in order to study the effect of SAW attenuation on the border between the crystal and the film. It is shown that SAW attenuation takes place in the film in thin layer of about 500 angstroms thickness. Thickness dependence of frequency shift and Q-factor of SAW oscillator and resonator, as well as, the mass sensitivity of SAW resonator to TiO2 film are presented. The model of SAW oscillator which uses two acoustic paths, has been studied and proposed.en
dc.publisher[s.n.]pt_BR
dc.date.issued2005pt_BR
dc.identifier.citationALCANTARA, Glaucio Pedro de. Estudo das propriedades acusticas do filme fino de TiO2 usando SAW. 2005. 69f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: <http://www.repositorio.unicamp.br/handle/REPOSIP/258792>. Acesso em: 4 ago. 2018.pt_BR
dc.description.degreelevelMestradopt_BR
dc.description.degreenameMestre em Engenharia Elétricapt_BR
dc.contributor.committeepersonalnameFruett, Fabianopt_BR
dc.contributor.committeepersonalnameMartins, Eversonpt_BR
dc.contributor.committeepersonalnameOliveira, Jose Edimar Barbosapt_BR
dc.date.defense2005-07-22T00:00:00Zpt_BR
dc.date.available2018-08-04T18:27:49Z-
dc.date.accessioned2018-08-04T18:27:49Z-
dc.description.provenanceMade available in DSpace on 2018-08-04T18:27:49Z (GMT). No. of bitstreams: 1 Alcantara_GlaucioPedrode_M.pdf: 1079087 bytes, checksum: afc69d32771f7a3060b934cb3fcabca4 (MD5) Previous issue date: 2005en
dc.identifier.urihttp://repositorio.unicamp.br/jspui/handle/REPOSIP/258792-
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